MEMS je skratka pre mikromotorový systém. Individuálna miniaturizačná veľkosť hotového produktu je na úrovni milimetrov alebo dokonca mikrónov. Je široko používaný v 5G komunikácii, monitorovaní bezpečnosti, priemyselnej automatizácii, automobilovej elektronike a ďalších oblastiach. V tejto fáze možno povedať, že takmer všetky elektronické produkty sú aplikované na MEMS.
Výhody MEMS zariadenia: malé rozmery, nízka hmotnosť, jednoduchá integrácia, nízka spotreba energie, vysoká citlivosť a mnoho ďalších výhod. A môže sa vyrábať sériovo. Hoci sa dá vyrábať sériovo, obaly MEMS nie sú univerzálne. Podľa rôznych funkčných typov komponentov MEMS sa štruktúra komponentov a spôsoby balenia líšia a vyhradený typ je vyšší.
V tejto fáze sa bežne používa technológia montáže na úrovni čipov. Prirodzene, existujú pomerne prísne požiadavky na presnosť montáže, prevádzkové prostredie a metódy zarovnania.
Ťažkosti montáže na úrovni čipu MEMS
1. Vysoký štandard presnosti balenia
Softvér systému MEMS obsahuje unikátne rozhranie dátových signálov, puzdro, vnútornú stenu a ďalšie konštrukcie, ktoré zvyšujú náročnosť riadenia polohy a uhla pri vyberaní a umiestňovaní počas celého procesu drôteného spájania komponentov MEMS a multifunkčných substrátov.
2. Materiál je krehký a ľahko sa rozbije
Zariadenia MEMS, ako sú mikroakcelerometre, mikromotory atď., majú vo všeobecnosti zabudované mechanické štruktúry, ako sú dutiny alebo konzoly. Tieto štruktúry majú malú veľkosť a majú oveľa menšiu mechanickú pevnosť ako čipy IC. Sú veľmi citlivé na fyzický kontakt počas montáže a iných procesov.
Mnohé časti zariadenia MEMS sú nielen malých rozmerov, ale sú aj krehké a krehké, ako sú hlboké drážky a sektory, takže pracovný tlak aplikovaný pri lepení je veľmi dôležitý. Ak je pracovný tlak príliš malý, spojenie nebude uzavreté; ak je pracovný tlak príliš vysoký, komponenty sa poškodia.
Je zrejmé, že presné úrovne presnosti a amplitúdy väzby sú nevyhnutnými podmienkami na zlepšenie priepustnosti inštalácie rádiofrekvenčného vysielača/prijímača MEMS.
Keď je hrúbka zariadenia MEMS medzi 50-150 μm, zvolený pracovný tlak na lepenie drôtu je medzi 50-100 g a rotačný posun by mal byť menší ako 0,3 °, aby sa poškodenie komponentov mohlo vo veľkej miere znížiť. a súlad sa môže zlepšiť. ohodnotiť.
Vysoko presné zarovnanie, typ záplaty, aby sa zabezpečila rýchlosť priechodu
Spätná väzba na mikrónovej úrovni na získanie presných informácií o údajoch, presnosť riadenia sily ±0,01N, úroveň presnosti lineárnej opakovateľnosti ±2μm, úroveň presnosti opakovateľnosti otáčania ±0,01°, radiálna odchýlka menšia ako 10μm, špecifikácia rozlíšenia kódovača 1μm, k dispozícii v stabilnom výstupe aj pri vysokých -rýchlosť prevádzky, zlepšenie kvalifikácie a stability.
Vákuové sanie, regulovateľný pracovný tlak, zníženie spotreby
Lineárny rotačný motor Guoao využíva dizajn dutej osi Z, vyhradenú tracheálnu zásuvku, vákuové sanie, plug and play a môže poskytovať prispôsobené služby založené na štruktúre a charakteristikách komponentov;
Obsahuje"soft landing" funkcia, ktorá dokáže dokončiť stabilnú kontrolu sily v rozmedzí ±1,5 g a dokáže prispôsobiť parametre, ako je rýchlosť, zrýchlenie a ovládanie sily, aby sa umiestňovacia hlava mohla dotýkať komponentov MEMS veľmi presným pracovným tlakom, čím sa znižuje vyčerpanie.
& quot;Z+R" integrovaný dizajn osi na zvýšenie rýchlosti
Inovatívne dvojosové integrované riešenie kombinuje tradičný"servomotor + guľôčkovú skrutku" do jedného, ktorý dokáže dobre zvládnuť problém záťaže vlastnej hmotnosti osi Z, a kompletný komponent Pick& Umiestňovanie, umiestňovanie a ďalšie akcie vysokou rýchlosťou a presnosťou. Ťah Krivka je hladká, maximálny ťah je 8-50 N, efektívny zdvih je 10-50 mm a ultra dlhá životnosť umožňuje efektívnu výrobu.
